中科鋼研高純碳化硅項目及高端裝備項目開工
12月18日,中科鋼研高純碳化硅粉和智能高端裝備制造項目開工儀式在山東菏澤舉行。
據(jù)悉,集中開工的兩個項目采用國際一流標準,建設智能高端裝備和高純碳化硅粉新材料兩個“總部+生產+研發(fā)”三合一項目,投資額均超過10億元。早前披露信息顯示,2018年開工總投資10億元的山東萊西中科鋼研半導體項目預計年內投產,全部達產可實現(xiàn)年產5萬片4英寸碳化硅晶體襯底片、5000片4英寸高純度半絕緣型碳化硅晶體襯底片。菏澤項目無疑是該項目原料就近供給的有力支撐。
中科鋼研擁有先進的4/8英寸升華法碳化硅長晶爐,4英寸高溫化學氣相沉積法碳化硅生長技術,填補了國內空白,并具備了產業(yè)化應用條件。
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