碳化硅作為一種常見的工業(yè)磨料，嚴(yán)格講是一種半導(dǎo)體材料，其電學(xué)性質(zhì)屬雜質(zhì)導(dǎo)電性，電阻率在10ˉ2～1012Ω·㎝之間。其導(dǎo)電性能隨碳化硅晶體中引入雜質(zhì)的種類和數(shù)量的不同而變化，碳化硅根據(jù)其含雜質(zhì)不同，導(dǎo)電性能也不同。其中對碳化硅導(dǎo)電性影響最大的雜質(zhì)是鋁，氮和硼，含鋁較多的碳化硅導(dǎo)電性顯著增大。碳化硅的導(dǎo)電性隨電場強度的增大而迅速提高，且具有非線性變化的特點。碳化硅的電阻率隨溫度的變化而改變，但在一定的溫度范圍內(nèi)與金屬的電阻溫度特性剛好相反，高純度碳化硅會隨著溫度的升高而電阻率下降。